轮廓仪是一种用于测量物体表面轮廓形状的高精度仪器。它能够以的精度和分辨率捕捉到物体表面的微观形貌和细节特征，从而生成物体表面的三维轮廓图像。简单来说，轮廓仪就像是一把“超级显微镜”，能够让我们看到肉眼无法分辨的形状细节。
可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
工作原理：
3D光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域，除了3D光学轮廓测量仪，其它仪器达不到检测的精度要求。
技术参数：
1、三轴移动方式：xy轴为电动控制，z轴为自动控制；
2、测量点阵分辨率：1360*1024pixels;
3、四种光源；
4、同时具备共聚焦、白光干涉、相位差干涉三种测量模式；
5、高度测量：达到40mm（standard）;6、xy轴位移：达100*75mm；
7、xy轴测量分辨率：可达0.31μm；
8、z轴线性度：＜0.5μm/mm;
9、Z轴分辨率：2nm;
10、高度步进精度：0.5%；
11、显示分辨率：0.001nm.。